近期,上海芯上微裝科技股份有限公司(以下簡稱“芯上微裝”)自主研發(fā)的首臺350nm步進光刻機(AST6200 )正式完成出廠調試與驗收,啟程發(fā)往客戶現(xiàn)場,將為國產化合物半導體制造提供強有力的核心裝備支撐。
圖片來源:芯上微裝
AST6200光刻機是芯上微裝基于多年光學系統(tǒng)設計、...  [詳內文]
芯上微裝首臺350nm步進光刻機發(fā)運,助力國產化合物半導體 |
| 作者 KikiWang|發(fā)布日期 2025 年 12 月 02 日 18:33 | 分類 化合物半導體 |
