近期,上海芯上微裝科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“芯上微裝”)自主研發(fā)的首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)(AST6200 )正式完成出廠調(diào)試與驗(yàn)收,啟程發(fā)往客戶現(xiàn)場(chǎng),將為國(guó)產(chǎn)化合物半導(dǎo)體制造提供強(qiáng)有力的核心裝備支撐。
圖片來源:芯上微裝
AST6200光刻機(jī)是芯上微裝基于多年光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、...  [詳內(nèi)文]
芯上微裝首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)發(fā)運(yùn),助力國(guó)產(chǎn)化合物半導(dǎo)體 |
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作者
KikiWang
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發(fā)布日期:
2025 年 12 月 02 日 18:33
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關(guān)鍵字:
化合物半導(dǎo)體
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