近期，深圳技術大學半導體微納加工中心與測試平臺正式落成。

深技大副校長鄧元龍代表學校，分別與清華大學深圳國際研究生院、深圳平湖實驗室、深圳國際量子研究院、南方科技大學深港微電子學院、深圳光峰科技股份有限公司、藍河科技(紹興)有限公司、騰璞顯示技術（深圳）有限公司、深圳市中科米格實驗室技術有限公司等科研院校及機構代表完成集中簽約。簽約內容涵蓋框架協(xié)議、聯(lián)合實驗室共建、員工互聘、校外實習實訓基地共建及項目合作協(xié)議等多個關鍵領域。

圖片來源：SZTU光電芯

作為深圳市首個聚焦化合物半導體光電子領域的公共服務平臺，該平臺的投用填補了深圳市在“光載信息”和“智能傳感”半導體芯片領域的空白，將為粵港澳大灣區(qū)半導體產業(yè)高質量發(fā)展提供關鍵支撐，筑牢深技大應用研究型人才培養(yǎng)根基。

資料顯示，深圳技術大學半導體微納加工中心與測試平臺是國內高校系統(tǒng)中獨立建成的規(guī)模最大、工藝最完整、運營職業(yè)化的#化合物半導體 光電芯片公共服務平臺之一。

中心建筑面積2600平方米，其中千級、百級及萬級潔凈區(qū)面積達2100平方米，配置120余臺套先進教學與研發(fā)工藝設備，構建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關鍵環(huán)節(jié)的全流程工藝體系，可提供“設計—加工—封裝—測試”一站式技術解決方案。

中心以“科研牽引、產業(yè)協(xié)同、人才培養(yǎng)”為使命，精準對接深技大應用研究型人才培養(yǎng)需求，致力于打造國際先進、國內領先的產學研協(xié)同創(chuàng)新高地。依托深技大集成電路與光電芯片學院，組建了由50多名高層次科研人員構成的核心團隊，已構建起從基礎研究到工藝實現(xiàn)、從中試到產業(yè)化的完整創(chuàng)新鏈條。作為學院本碩博學生的核心實踐載體，將深度融合科研與教學，助力構建實踐型人才培養(yǎng)體系，為產業(yè)輸送高素質專業(yè)人才，實現(xiàn)教學、科研、產業(yè)三大目標的精準對接。

業(yè)界指出，當前，深圳市在光載信息產業(yè)和智能傳感器系列產業(yè)領域缺乏上游工藝芯片制造公共服務平臺，深圳技術大學半導體微納加工中心與測試平臺的落成彌補了這一空白，其產業(yè)服務線精準對接深圳市“20+8”產業(yè)集群中的光載信息產業(yè)和智能傳感器系列產業(yè)，能滿足粵港澳大灣區(qū)在該領域的相關需求。未來，中心將進一步助力學校深化產教融合、推進新型研究型大學建設，為粵港澳大灣區(qū)建設產業(yè)科技策源地貢獻深技大力量。

（集邦化合物半導體整理）

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