據(jù)徐州日報(bào)報(bào)道，近日，江蘇集芯先進(jìn)材料有限公司（以下簡稱“江蘇集芯”）成功出爐首枚8英寸液相法（LPE）高質(zhì)量碳化硅單晶。經(jīng)檢測，晶體面型、晶型與結(jié)晶質(zhì)量均達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，標(biāo)志著江蘇集芯在第三代半導(dǎo)體核心材料領(lǐng)域再下一城，也為我國碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控寫下關(guān)鍵一筆。

據(jù)了解，江蘇集芯在6/8英寸物理氣相傳輸法（PVT）已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的基礎(chǔ)上，僅用半年便完成液相法工藝從6英寸到8英寸的研發(fā)跨越。

相比PVT法，液相法在生產(chǎn)效率、材料利用率、成本控制及大尺寸擴(kuò)徑等方面優(yōu)勢顯著，被公認(rèn)為下一代碳化硅長晶的核心路線。由于全球范圍內(nèi)，僅極少數(shù)頂尖機(jī)構(gòu)曾試制出液相法晶體，真正邁入8英寸級仍屬罕見，因此江蘇集芯此次突破為未來低成本、低缺陷、易摻雜的碳化硅晶體生產(chǎn)打通了“快車道”。

近年來，徐州把集成電路與ICT產(chǎn)業(yè)納入全市“343”創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)集群重點(diǎn)打造，以打造淮?！靶尽备叩貫槟繕?biāo)，初步形成邳州市半導(dǎo)體材料和設(shè)備、徐州經(jīng)開區(qū)半導(dǎo)體材料和先進(jìn)封測、徐州高新區(qū)終端應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局。

第三代半導(dǎo)體方面，不斷實(shí)現(xiàn)碳化硅、氮化鎵等領(lǐng)域技術(shù)突破，匯聚了如天科合達(dá)、江蘇集芯、徐州致能、中科漢韻、江蘇實(shí)為 等有實(shí)力的企業(yè)。

其中天科合達(dá)是北京天科合達(dá)的全資子公司2018年落戶徐州經(jīng)開區(qū)。公司專注于第三代半導(dǎo)體碳化硅襯底及相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品涵蓋2-8英寸導(dǎo)電型、半絕緣碳化硅晶片，技術(shù)水平國內(nèi)領(lǐng)先。

（集邦化合物半導(dǎo)體 Niko 整理）

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