近日，國內(nèi)碳化硅產(chǎn)業(yè)在核心產(chǎn)品交付領(lǐng)域迎來集中突破，三大重點企業(yè)相繼傳來交付相關(guān)利好消息，彰顯國產(chǎn)碳化硅產(chǎn)業(yè)向好的景氣態(tài)勢，包括：中微公司新型八寸碳化硅外延設(shè)備已順利付運至國內(nèi)領(lǐng)先客戶開展驗證；北方高科碳化硅材料訂單已排至今年6月；揚帆半導(dǎo)體首臺12寸SiC全自動RCA刷洗一體機成功出貨。

1、中微公司八寸碳化硅外延設(shè)備付運客戶驗證

中微公司2月27日發(fā)布2025年度業(yè)績快報。

公告顯示，中微公司2025年營業(yè)收入約123.85億元，較2024年增加約33.19億元，同比增長約36.62%；實現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤約為21.11億元，與上年同期相比，增加約4.96億元，同比增加約30.69%。

圖片來源：中微公司業(yè)績公告截圖

公告中提到，中微公司新型八寸碳化硅外延設(shè)備已付運至國內(nèi)領(lǐng)先客戶開展驗證，目前進展順利。

碳化硅作為第三代半導(dǎo)體核心材料，廣泛應(yīng)用于新能源汽車、電力電子、5G通信等高端領(lǐng)域，而八寸碳化硅外延設(shè)備的研發(fā)與落地，是推動碳化硅器件規(guī)?；?、低成本生產(chǎn)的關(guān)鍵支撐，也是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代的重要突破方向。

在第三代半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，中微公司以碳化硅、氮化鎵為核心布局方向，形成了多元化的產(chǎn)品體系。

除此次進入驗證階段的八寸碳化硅外延設(shè)備外，公司推出的用于氮化鎵功率器件生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備PrismoPD5，已交付國內(nèi)外領(lǐng)先客戶進行生產(chǎn)驗證，并取得了重復(fù)訂單。

除此之外，中微公司近期在產(chǎn)業(yè)鏈布局與產(chǎn)能建設(shè)上也持續(xù)發(fā)力。公司擬發(fā)行股份收購國產(chǎn)CMP設(shè)備廠商杭州眾硅電子科技有限公司控股權(quán)，完善半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品矩陣，構(gòu)建產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。

在產(chǎn)能布局方面，南昌約14萬平方米以及上海臨港約18萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地均已投入使用，同時在成都布局的研發(fā)及生產(chǎn)基地暨西南總部項目正在推進中，計劃2027年正式投入生產(chǎn)。

2、北方高科碳化硅材料訂單排至6月

近日，據(jù)銀川日報、賀蘭發(fā)布等媒體報道，寧夏北方高科工業(yè)有限公司（下稱“北方高科”）碳化硅材料訂單持續(xù)火爆，目前訂單已排至2026年6月，企業(yè)生產(chǎn)車間滿負荷運轉(zhuǎn)，全力保障訂單交付。

報道稱，新春假期期間，北方高科并未停工停產(chǎn)，生產(chǎn)車間內(nèi)機器轟鳴、秩序井然，燒制、切割、包裝等工序有條不紊推進，工人們堅守崗位全力趕制訂單，以“不停工、不打烊”的奮斗姿態(tài)保障產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定。

北方高科部分碳化硅陶瓷產(chǎn)品市場需求旺盛，訂單已排至今年6月，即便年產(chǎn)碳化硅陶瓷數(shù)百噸，仍無法滿足市場需求，供需缺口顯著。

北方高科專注于碳化硅深度加工，已實現(xiàn)從碳化硅粉體到耐磨陶瓷結(jié)構(gòu)件、防彈裝甲陶瓷的全產(chǎn)業(yè)鏈自主生產(chǎn)，產(chǎn)品涵蓋亞微米級碳化硅粉、導(dǎo)電陶瓷、陶瓷軸承等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、航天、無人機等多個高端領(lǐng)域，憑借穩(wěn)定的產(chǎn)品品質(zhì)獲得市場高度認可。

公開信息顯示，公司“亞微米級”碳化硅粉年產(chǎn)能超1500噸，制品陶瓷年產(chǎn)能突破500噸，產(chǎn)品不僅暢銷國內(nèi)沿海地區(qū)，還出口歐美，同時進入臺積電、華為、大疆等知名企業(yè)供應(yīng)鏈。

3、揚帆半導(dǎo)體首臺12寸SiC全自動RCA刷洗一體機順利出貨

2月27日，揚帆半導(dǎo)體（江蘇）有限公司（下稱“揚帆半導(dǎo)體”）正式宣布，公司全自主研發(fā)的首臺12寸SiC（碳化硅）全自動RCA刷洗一體機順利裝車出貨。

據(jù)介紹，該設(shè)備核心技術(shù)擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，打破日、美廠商壟斷。碳化硅廣泛應(yīng)用于新能源汽車等高端領(lǐng)域，高端清洗設(shè)備直接影響芯片性能，此前國內(nèi)市場長期依賴進口，是產(chǎn)業(yè)鏈“卡脖子”瓶頸。

具體來看，針對 SiC材料的高硬度與特殊表面特性的關(guān)系使表面的顆粒及金屬離子不易去除，該設(shè)備創(chuàng)新突破技術(shù)瓶頸，領(lǐng)先業(yè)界提供專業(yè)先進的清洗制程解決方案，具備12寸全兼容制程。同時搭載高精度循環(huán)控制系統(tǒng)，支持智能化整線對接，適配規(guī)?；a(chǎn)，同時大幅降低能耗，踐行綠色發(fā)展理念。該設(shè)備出貨前已完成驗證，獲得國內(nèi)頭部企業(yè)認可及訂單支持。

揚帆半導(dǎo)體科技成立于2018年3月，是國家高新技術(shù)企業(yè)，深耕半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，已構(gòu)建起涵蓋第一代至第四代半導(dǎo)體材料加工的全方位產(chǎn)品矩陣。

多環(huán)節(jié)交付進度提速，國產(chǎn)碳化硅景氣度上行

從行業(yè)來看，三家企業(yè)的交付突破，是國產(chǎn)碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈成熟度提升的體現(xiàn)，也反映出當(dāng)前產(chǎn)業(yè)發(fā)展的真實態(tài)勢。

當(dāng)前，全球碳化硅產(chǎn)業(yè)向大尺寸、規(guī)模化方向迭代，8英寸、12英寸設(shè)備及材料成為市場主流，中微公司八寸外延設(shè)備、揚帆半導(dǎo)體12寸清洗設(shè)備的交付，精準契合行業(yè)迭代需求，也印證了國產(chǎn)設(shè)備在大尺寸領(lǐng)域的技術(shù)突破已具備落地能力。

北方高科訂單飽和，本質(zhì)是下游新能源汽車、半導(dǎo)體等領(lǐng)域需求激增的縮影，但其產(chǎn)能仍無法滿足市場需求，也暴露國內(nèi)碳化硅材料領(lǐng)域供需失衡的現(xiàn)狀。

隨著更多企業(yè)加大研發(fā)投入、完善產(chǎn)品矩陣，國產(chǎn)碳化硅在全球市場的話語權(quán)將持續(xù)提升，同時也將為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控提供重要支撐。

（集邦化合物半導(dǎo)體 林曉 整理）

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