2026年1月9日，珂瑪科技在投資者交流活動中系統(tǒng)披露了可轉(zhuǎn)債進(jìn)展、產(chǎn)能建設(shè)、產(chǎn)品性能及外延并購四大關(guān)切。

圖片來源：珂瑪科技公告截圖

另外，珂瑪科技在投資者交流活動中系統(tǒng)披露了可轉(zhuǎn)債進(jìn)展、產(chǎn)能建設(shè)、產(chǎn)品性能及外延并購四大關(guān)切。

公司表示，可轉(zhuǎn)債申請已獲深交所受理并正處審核階段，同步完成蘇州高新區(qū)項目用地購置；募投將重點(diǎn)新建靜電卡盤產(chǎn)線并進(jìn)一步擴(kuò)大陶瓷加熱器產(chǎn)能，以滿足半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件國產(chǎn)替代需求。

2025年內(nèi)，公司先把原先分散于各租賃場地的陶瓷加熱器設(shè)備整體遷入IPO募投的先進(jìn)材料生產(chǎn)基地，并配套建成潔凈車間，顯著提升交付保障能力。

在性能對比方面，珂瑪科技自2023年四季度起已實現(xiàn)陶瓷加熱器批量出貨，產(chǎn)品用于晶圓廠薄膜沉積環(huán)節(jié)，關(guān)鍵指標(biāo)已滿足主流客戶制程要求。公司透露，將持續(xù)優(yōu)化材料配方與工藝，開發(fā)更耐腐蝕、耐高溫、等離子沖刷壽命更長的迭代型號，以縮小與國際龍頭在極致工藝窗口和長期可靠性上的差距。

針對靜電卡盤產(chǎn)業(yè)化進(jìn)度落后于陶瓷加熱器的疑問，公司解釋稱，兩者研發(fā)起點(diǎn)不同：陶瓷加熱器自2016年承擔(dān)國家02專項至今積累九年，而靜電卡盤項目2020年才啟動，僅五年多時間；加之材料體系由氮化鋁轉(zhuǎn)為氧化鋁，工藝流程差異大，導(dǎo)致驗證周期更長。

目前，12英寸ICP/CCP刻蝕機(jī)用Monopolar靜電卡盤已通過設(shè)備廠驗證并小批量生產(chǎn)，多區(qū)加熱版本亦交付客戶端測試。珂瑪科技計劃借助可轉(zhuǎn)債資金建設(shè)專業(yè)產(chǎn)線，復(fù)制陶瓷加熱器的全流程技術(shù)閉環(huán)，快速提升靜電卡盤良率與性能指標(biāo)。

關(guān)于外延擴(kuò)張，公司明確將并購作為長期成長路徑之一。2025年7月完成的蘇州鎧欣73%股權(quán)收購是首單案例，其CVD碳化硅涂層及塊體陶瓷技術(shù)與珂瑪現(xiàn)有高純氧化鋁、氮化鋁結(jié)構(gòu)陶瓷形成互補(bǔ)，正同步推進(jìn)銷售渠道、供應(yīng)鏈及信息系統(tǒng)整合。

未來并購將聚焦三大方向：一是半導(dǎo)體設(shè)備零部件領(lǐng)域的功能-結(jié)構(gòu)一體化模塊及特殊工藝；二是陶瓷材料在新能源、化工環(huán)保、生物醫(yī)藥、汽車等場景的跨行業(yè)應(yīng)用；三是高純氮化鋁、碳化硅微粉等上游粉體環(huán)節(jié)。公司表示，所有潛在項目將嚴(yán)格遵循法律法規(guī)，及時履行信息披露義務(wù)。

（集邦化合物半導(dǎo)體整理）

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