8月5日,晶升股份官微宣布成功開發(fā)出新一代SCML320A系列水平式8英寸碳化硅外延爐。
圖片來源:晶升股份
據(jù)了解,晶升股份SCML320A碳化硅外延爐生長速率≥60μm/h,膜厚均勻性<1%,摻雜均勻性<2%,指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。此外,還支持N/P兩種摻雜類型,可以滿足不...  [詳內(nèi)文]
晶升股份推出SCML320A碳化硅外延爐 |
| 作者 KikiWang|發(fā)布日期 2025 年 08 月 06 日 14:05 | 分類 企業(yè) , 碳化硅SiC |
